應用材料APPLIED MATERIALS0190-72680壓力真空計

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產品簡介：

瑞士INFICON PEG100潘寧真空計，這款堅固的潘寧冷陰極電離真空計可準確測量 1 x 10-2 毫巴到低至 1 x 10-9 毫巴的高真空壓力。 還有現場總線可供選擇。

PEG100潘寧真空計 的詳細介紹

INFICON  PEG100潘寧真空計提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現單絲燒毀的現象。 由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低，潘寧真空計還可在濺射應用環境下運行。 現場總線選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議，將真空計輕松集成到真空系統中。
PEG100潘寧真空計益處：

• 測量范圍廣，從 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）

• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置

• 創新的電極幾何形狀提供***的點火屬性

• 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中

• 陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換

• ***小化真空計附近的磁場強度

• 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器

• 對數模擬輸出信號

• 現場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

PEG100潘寧真空計典型應用：

• 高真空壓力監控

• 蒸發濺射系統

• 高真空范圍內的一般真空測量和控制

PEG100潘寧真空計選型指南：

PEG100零件號說明351-000 351-002 351-003 351-004 351-005

備件

PEG100零件號說明351-490